The nonlinearity of moment-angle relationship of the beams in a kind of micromachine vibratory angular rate sensor is derived by using energy method.
用能量法计算了振
轮式微
械角速率传感器中梁
力矩一转角非线性关系，分析了在这种非线性影响下传感器幅频、相频特性。
,振性;
;;;;;;器;，转;
械, 力学;;压路；
给料器压；振成型The nonlinearity of moment-angle relationship of the beams in a kind of micromachine vibratory angular rate sensor is derived by using energy method.
用能量法计算了振轮式微械角速率传感器中梁力矩一转角非线性关系，分析了在这种非线性影响下传感器幅频、相频特性。
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